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  5. 氣相沉積前驅(qū)體
別名: 三(五氟苯)硼烷;三(五氟苯基)硼;三(五氟苯基)硼烷;反（五氟苯荃）硼;Tris(pentafluorophenyl)borane 三(五氟苯基)硼烷;四氫-3-呋喃丙醇;三（五氟苯）硼;三(五氟苯基)硼烷 溶液;三(五氟苯基)硼烷(TPFPB);三(五氟苯基)硼,97%;三(五氟苯基)硼, 1G;三(五氟苯基)硼烷,97%;三(五氟苯)硼
CAS No.:1109-15-5
分子式: C18BF15
分子量: 511.98
EINECS: MFCD00269813
別名: 四氯化硅;四氯化硅(IV);氯化硅;四氯硅烷;四氯四硅烷;四氯化硅,AR;氯化硅(IV);四氯化矽;四氯矽烷;四氯甲硅烷;四氯化硅 溶液;四氯化硅/四氯硅烷
CAS No.:10026-04-7
分子式: Cl4Si
分子量: 169.90
EINECS: 233-054-0
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